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石英坩埚相关术语和定义

  石英坩埚使用环境非常苛刻,因此对所采用的原料纯度及各项性能要求较高,生产技术难度比较大,为了更好的生产和推广这种材料,我们需要先了解一下它的相关的术语和定义:
1.杂质点
石英坩埚中有颜色的点
2.划伤
坩埚内表面的线状损伤
3.气泡
坩埚壁内的空穴
4.附着物
石英坩埚内表面上附着的固体物
5.表面沾物
坩埚表面的不干净膜、变色、喷溅、指纹以及其它污染物
6.析晶
坩埚在特定温度下析出晶体,造成透明层失透
7.凹坑
坩埚内表面的凹陷的坑
8.崩边
石英坩埚端口的缺失
9.椭圆度
坩埚圆柱部分同一横截面上最大、最小直径之差
10.偏壁度
坩埚圆柱部分同一横截面上最大、最小壁厚之差
了解了上述术语和定义能够对我们起到一定的帮助。文中所指出的术语和定义适用于用高纯石英(二氧化硅)作原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料石英的石英坩埚。
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